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众乐彩票官网实现蒸汽质量流量控制

作者: 來源: 发布时间:2019-05-16 09:33:26
    我经常被要求描述Sierra成功处理的最具挑战性的流量计应用。我们想到的是我们如何使用孔板流量計(设计用于测量气体)来精确控制半导体工业中使用的液体,压差极低,约为10托。
    最初,我认为这不可行,因为液体导致孔板流量計最大输出或“轨道”,并且压差对于5 SLPM等效N2流量而言太低。但等等,它确实有效!这是如何做…
    我想讨论一种特殊形式的气体流量测量 - 水蒸汽 - 也称为蒸汽流量。传统上,蒸汽用孔板测量。蒸汽通常是饱和的或具有已知的过热,因此可以从蒸汽台获得密度。
浅谈关于孔板流量計测量之前的12个正确安装技巧
    然而,蒸汽在沿管道下降时自然冷却,因此使用点的压力和温度通常与离开锅炉时的压力和温度不同; 因此,引入了密度误差并且蒸汽的质量流量不再正确。显然,可以添加T和P补偿,但这会导致我们之前讨论过的相同问题。
    我们详细研究了这个问题,并开发了Innova-Mass®240&241 Mass Vortex多变量流量计作为回应。孔板流量計使用這樣的事實:每單位時間由阻流體流出的渦流數量是流體速度的函數。
    典型的比喻是随风飘动的旗帜。随着风速的增加,旗帜会更快地翻动。实际的拍打是由旗杆上的漩涡(“虚张声势”)引起的。如果我们可以计算每单位时间的襟翼数量,我们就可以确定风速。
    通过将液体加热至80℃并抽真空将液体鼓泡在容器中; 这会将液体变成蒸汽。然后,必须将其保持在真空和80℃以防止其冷凝回液体中。并且,如果它保持蒸汽,传感器可以将其检测为非冷凝气流而不是轨道输出。这意味着质量流量控制器的流体也需要外部加热到80°C。
    下一步是应对压力下降。阀门中的正常尺寸的孔口会阻塞并控制流量,蒸汽会凝结并转变成液体,从而导致故障。压降太高而无法达到满量程流量。解决方案是采用低流量计阀体并将其与通常用于高达500 SLPM的高流量阀匹配。这提供了足够低的压降以达到满量程流动并且不会使蒸汽冷凝回液体中。
    在Sierra,我们一直致力于流量计的创新,并喜欢解决诸如蒸汽质量流量控制等棘手问题。我们可以做些什么来帮助你?您最具挑战性的流量计应用是什么?请在下面的评论中分享或聯系我們获取高级工程支持。

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